VOCS废气处理催化燃烧设备包括干式过滤系统、活性炭吸附系统、催化燃烧再生系统、电气控制系统及通风管道系统等五大子系统组成。
1.VOCS废气处理催化燃烧设备干式过滤系统：包括过滤箱、抽屉、过滤材料等，这是一个初中效过滤系统，保证进入到吸附箱的气源干净、干燥、无颗粒；
2.VOCS废气处理催化燃烧设备活性炭吸附系统：包括吸附箱本体、活性炭、泄压装置、温度传感器、消防喷淋装置、仪表阀门等。
3、VOCS废气处理催化燃烧设备催化燃烧再生装置：包括装置本体、电加热预热室、催化燃烧蓄热室、防爆泄压装置、温度传感器、连接管道阀门、仪表、催化剂等。
4. VOCS废气处理催化燃烧设备电气控制系统：包括电柜、PLC、触摸屏、现场仪表及线管等。
5. VOCS废气处理催化燃烧设备管道及风机，所有连接管道均选用优质工业镀锌板制作。
催化燃烧设备工作时催化剂温度要求
催化剂都有一个催化活性温度，对催化燃烧来说称催化剂起燃温度，必须使废气和床层的温度达到起燃温度才能进行催化燃烧，必须设置预热装置。但对于排出的废气本身温度就较高的场合，如漆包线、绝缘材料、烤漆等烘干排气，温度可达300℃以上，则不必设置预热装置。预热装置加热后的热气可采用换热器和床层内布管的方式。预热器的热源可采用烟道气或电加热，目前采用电加热较多。当催化反应开始后，可尽量以回收的反应热来预热废气。在反应热较大的场合，还应设置废热回收装置，以节约能源。预热废气的热源温度一般都超过催化剂的活性温度。为保护催化剂，加热装置应与催化燃烧装置保持一定距离，这样还能使废温度分布均匀。在有机物废气的催化燃烧中，所要处理的有机物废气在高温下与空气混合易引起，安全问题十分重要。因而，一方面必须控制有机物与空气的混合比，使之在下限；另一方面，催化燃烧系统应设监测报警装置和有防爆措施。
催化燃烧设备处理废气成分前要清理粉尘
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。）
催化燃烧设备，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，催化燃烧，使污染物质在极短的时间内发生分解，催化燃烧废气净化，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的技术相比较，催化燃烧设备技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。
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